井上尚三: "プラズマ発光強度信号による高周波反応性スパッタリングプロセスの動的制御" 日本金属学会誌. 61巻10号. 1108-1114 (1997)
井上尚三: "プラズマ発光強度信号による高周波反応性スパッタリングプロセスの動的制御" 日本金属学会誌. 61巻10号. 1108-1114 (1997)
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Shozo Inoue：“使用等离子体发射强度信号的高频反应溅射过程的动态控制”日本金属研究所杂志，第 61 卷，第 1108-1114 期（1997 年）。
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