Study of neutral-beam etching conditions for fabrication of 7-nm-diameter nanocolumn structures using ferritin iron-core masks
Study of neutral-beam etching conditions for fabrication of 7-nm-diameter nanocolumn structures using ferritin iron-core masks
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使用铁蛋白铁芯掩模制造7 nm直径纳米柱结构的中性束刻蚀条件研究
DOI：
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发表时间：
2005
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
寒川誠二
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Y.Kitade;Y.Takei;T.Misawa;N.Kubota;T.Oyabu;H.Nanto;寒川誠二
