T.Hata et al.: "Propose of New Target for PZT Thin Films by Reactive Spattering" Proc.of 4th International Symposium on Spattering and plasma process. 617-622 (1997)
T.Hata et al.: "Propose of New Target for PZT Thin Films by Reactive Spattering" Proc.of 4th International Symposium on Spattering and plasma process. 617-622 (1997)
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T.Hata 等人：“Propose of New Target for PZT Thin Films by Reactive Spattering”Proc.of 第四届国际溅射和等离子体工艺研讨会。
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