プラズマ援用研磨法の開発（第25報）－RS-SiC材のSiC成分とSi成分の酸化レートの評価－
プラズマ援用研磨法の開発（第25報）－RS-SiC材のSiC成分とSi成分の酸化レートの評価－
复制标题
等离子辅助研磨方法的开发（第25次报告） - RS-SiC材料的SiC成分和Si成分的氧化率评价 -
DOI：
--
复制
发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
陶通，孫栄硯，川合健太郎，有馬健太，山村和也
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
千葉 信孝;横 哲;成 基明;笘居 高明;阿尻 雅文;陶通，孫栄硯，川合健太郎，有馬健太，山村和也
