佐藤孝,シリコン基板光導波型加速度センサにおけるセンサ感度の導波路位置依存性
佐藤孝,シリコン基板光導波型加速度センサにおけるセンサ感度の導波路位置依存性
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Takashi Sato，硅基板光波导加速度传感器中传感器灵敏度的波导位置依赖性
DOI：
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发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
大島卓也,三浦雄介,大河正志
中科院分区：
文献类型：
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作者：
G. Jin;H. Chen;C. Gao;Y. Zhang;H. Kobayashi;N. Takai;K. Niitsu;K. Hadidi;大島卓也,三浦雄介,大河正志
