超精密非球面加工機の運動誤差測定(第2報)-運動誤差の機上測定実験-
超精密非球面加工機の運動誤差測定(第2報)-運動誤差の機上測定実験-
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超精密非球面加工机运动误差测量（第二报告）-运动误差在机测量实验-
DOI：
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发表时间：
2004
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
厨川常元
中科院分区：
文献类型：
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作者：
荒井義和;高偉;清水浩貴;清野慧;厨川常元
