厚膜BGaN結晶成長におけるGaN中間層の影響およびデバイス特性評価
厚膜BGaN結晶成長におけるGaN中間層の影響およびデバイス特性評価
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GaN中间层对厚膜BGaN晶体生长的影响及器件特性评估
DOI:
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发表时间:
2021
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
中野 貴之
中科院分区:
文献类型:
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作者:
松川 真也;太田 悠斗;宮澤 篤也;中川 央也;川崎 晟也;安藤 悠人;本田 善央;天野 浩;井上 翼;青木 徹;中野 貴之