N.Y.Sato: "CONTROL OF ION ENERGY FOR LOW-DAMAGE PLASMA PROCESSING IN RF DISCHARGE" 電気学会第16回ドライプロセスシンポジウム予稿集. 15-20 (1994)
N.Y.Sato: "CONTROL OF ION ENERGY FOR LOW-DAMAGE PLASMA PROCESSING IN RF DISCHARGE" 電気学会第16回ドライプロセスシンポジウム予稿集. 15-20 (1994)
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N.Y.Sato：“RF 放电中低损伤等离子体处理的离子能量控制”日本电气工程师学会第 16 届干法研讨会论文集 15-20 (1994)。
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