Distributions of slectron density and deposition rate of anarrow-gap plasmas polymerization system

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窄间隙等离子体聚合体系的电子密度和沉积速率分布

DOI：
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发表时间：
2005
期刊：
Proc. 27th Int. Conf. Phenomena in Ionized Gases(ICPIG-2005) (July 2005, The Netherlands)
影响因子：
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通讯作者：
K.Kinoshita ほか 6名
K.Kinoshita ほか 6名
中科院分区：
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文献类型：
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作者：
O.Hirano;K.Nakamura;H.Sugai;K.Nakamura ほか 3名;K.Nakamura ほか 2名;K.Kinoshita ほか 6名

文献摘要

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