水素・窒素混合雰囲気での高温熱処理によるc面サファイア基板表面分解及びAlN形成
水素・窒素混合雰囲気での高温熱処理によるc面サファイア基板表面分解及びAlN形成
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氢/氮混合气氛下高温热处理C面蓝宝石衬底表面分解和AlN形成
DOI：
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发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
纐纈明伯
中科院分区：
文献类型：
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作者：
猪木孝洋;国崎敦;富樫理恵;村上尚;熊谷義直;柳裕之;纐纈明伯
