溅射气压对快速制备Y_2O_3种子层的影响研究
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DOI：
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发表时间：
2012
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
陶伯万
中科院分区：
文献类型：
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作者：
程崛;熊杰;薛炎;夏钰东;郭培;张飞;赵晓辉;陶伯万
