大電力パルススパッタによる薄膜構造制御と微小錐構造形成
大電力パルススパッタによる薄膜構造制御と微小錐構造形成
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高功率脉冲溅射薄膜结构控制和微锥体结构形成
DOI：
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发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
中野武雄
中科院分区：
文献类型：
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作者：
二宮啓;Dilshadbek T. Usmanov;平岡賢三;和田博史;中野洋;松村正哉;眞田幸代;野並浩;大山研司;中野武雄
