Numerical simulation of magnetron fields in unbalanced and closed-field unbalanced magnetron

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不平衡和闭场不平衡磁控管中磁控管场的数值模拟

DOI：
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发表时间：
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期刊：
Plasma Application and Hybrid Functionally Materials
影响因子：
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通讯作者：
Yue Liu
Yue Liu
中科院分区：
其他
文献类型：
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作者：
Zhuo Zhao;Yanwen Zhou;Yue Liu

文献摘要

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