K.Nanbu, G.Wakayama: "Probability Theory of the Velocity Distribution of Ions Incident on a Radio-Frequency biased Wafer"Vacuum. 65. 11-17 (2002)
K.Nanbu, G.Wakayama: "Probability Theory of the Velocity Distribution of Ions Incident on a Radio-Frequency biased Wafer"Vacuum. 65. 11-17 (2002)
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K.Nanbu、G.Wakayama：“射频偏置晶圆上离子事件速度分布的概率论”真空。
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