Observation of Two-Dimensional Distribution of Lattice Inclination and Strain in Strained Si Wafers by Synchrotron X-Ray Topography
Observation of Two-Dimensional Distribution of Lattice Inclination and Strain in Strained Si Wafers by Synchrotron X-Ray Topography
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同步辐射X射线形貌观察应变硅片晶格倾角和应变的二维分布
DOI：
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发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
他
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Takayoshi Shimura;Atsushi Ogura;他
