K.Takahashi, K.Kujirai: "Silicon MCP by Three Dimensional Microprocessing" The 7th Int. Conf. on Solid-State Sensors and Actuators.
K.Takahashi, K.Kujirai: "Silicon MCP by Three Dimensional Microprocessing" The 7th Int. Conf. on Solid-State Sensors and Actuators.
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K.Takahashi、K.Kujirai：“三维微处理的硅 MCP”第 7 届国际研讨会
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