Epitaxial Growth of Rutile TiO_2 Films on MgO Substrate in Inductively Coupled Plasma-Assisted Sputtering
Epitaxial Growth of Rutile TiO_2 Films on MgO Substrate in Inductively Coupled Plasma-Assisted Sputtering
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电感耦合等离子体辅助溅射在MgO基体上外延生长金红石型TiO_2薄膜
DOI：
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发表时间：
2004
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Kunio Okimura
中科院分区：
文献类型：
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作者：
K.Okimura;T.Furumi;Kunio Okimura;Kunio Okimura
