差動排気型2元同時成膜装置を用いた窒化物/酸化物ナノコンポジット膜作製
差動排気型2元同時成膜装置を用いた窒化物/酸化物ナノコンポジット膜作製
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使用差动泵浦双组分同时沉积系统制造氮化物/氧化物纳米复合薄膜
DOI：
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发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
他4名
中科院分区：
文献类型：
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作者：
佐藤誉将;野瀬正照;松田健二;他4名
