スロット内生成マイクロ波プラズマの基礎的検討
スロット内生成マイクロ波プラズマの基礎的検討
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缝隙中产生微波等离子体的基础研究
DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
山本 匡毅，鈴木 陽香，豊田 浩孝
中科院分区：
文献类型：
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作者：
垣之内啓介;高野和文;村上聡;安達宏昭;丸山美帆子;吉川洋史;高橋義典;吉村政志;松村浩由;井上豪;村田道雄;森勇介;杉山成;山本 匡毅，鈴木 陽香，豊田 浩孝
