極端紫外自由電子レーザーによる電子線レジストへのエネルギー付与
極端紫外自由電子レーザーによる電子線レジストへのエネルギー付与
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使用极紫外自由电子激光向电子束抗蚀剂提供能量
DOI：
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发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
及川敬太
中科院分区：
文献类型：
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作者：
間所寛;石渡祐樹;川上俊弘;及川敬太
