ラマン分光法によるスパッタSrRuO3薄膜の構造評価とスパッタリングダメージが特性に及ぼす影響

ラマン分光法によるスパッタSrRuO3薄膜の構造評価とスパッタリングダメージが特性に及ぼす影響
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拉曼光谱评价溅射SrRuO3薄膜结构及溅射损伤对性能的影响

DOI:
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发表时间:
2011
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
山本孝
山本孝
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
田井丈嗣;宮崎亘;大住剛;金鎮雄;西出正道;加茂嵩史;舟窪浩;島宏美;西田謙;山本孝

文献摘要

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