川崎仁晴: "微粒子発生を伴う高周波シランプラズマに及ぼす放電周波数の影響" 電気学会プラズマ研究会資料. 63-72 (1995)
川崎仁晴: "微粒子発生を伴う高周波シランプラズマに及ぼす放電周波数の影響" 電気学会プラズマ研究会資料. 63-72 (1995)
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Hitoshi Kawasaki：“放电频率对高频硅烷等离子体产生细颗粒的影响”IEEJ 等离子体研究组材料 63-72 (1995)。
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