H.Itoh: "Characterization of redidual defect in cubic silicon carbide after hot-implantation and subsequent annealing" J.Appl.Phys.82. 5339-5347 (1997)
H.Itoh: "Characterization of redidual defect in cubic silicon carbide after hot-implantation and subsequent annealing" J.Appl.Phys.82. 5339-5347 (1997)
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H.Itoh：“热注入和后续退火后立方碳化硅中的残余缺陷的表征”J.Appl.Phys.82。
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