ScAlN薄膜/水晶基板上縦型リーキーSAWの伝搬減衰に速い横波，遅い横波成分が及ぼす影響の理論的検討
ScAlN薄膜/水晶基板上縦型リーキーSAWの伝搬減衰に速い横波，遅い横波成分が及ぼす影響の理論的検討
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快、慢横波分量对ScAlN薄膜/石英基片垂直漏声表面波传播衰减影响的理论研究
DOI：
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发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
垣尾省司
中科院分区：
文献类型：
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作者：
鈴木雅視;垣尾省司
