Low-dose Atomic-resolution Imaging Using OBF STEM
Low-dose Atomic-resolution Imaging Using OBF STEM
复制标题
使用 OBF STEM 进行低剂量原子分辨率成像
DOI：
10.11410/kenbikyo.57.2_49
复制
发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
柴田 直哉
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
大江 耕介;関 岳人;河野 祐二;中村 明穂;幾原 雄一;柴田 直哉
走査透過電子顕微鏡法 (STEM) は極めて高い空間分解能を有する顕微鏡法であり, 物質の原子構造解析に有力な手法である. 近年, 電子線への耐性が低い電子線敏感材料の原子構造解析が注目を集めているが, 通常の STEM 法では試料ダメージが深刻であるため, 原子スケールでの観察は極めて困難であった. そこで我々は, 次世代型の STEM 検出器である分割型検出器を利用することで, 超高感度結像法である最適明視野 (OBF) STEM 法の開発を進めてきた. OBF 法は従来型の STEM 法と比較して 2 桁程度高い結像効率を有しており, 照射損傷を抑えることのできる低ドーズ条件においても明瞭に原子構造を可視化できる. 本稿では, この OBF STEM 法の基礎的な結像理論に加えて, リチウムイオン電池材料をはじめとする様々な試料へのアプリケーションについて紹介する.