Elemental Distribution Analysis of Semiconductor Nanostructures with Atom Probe Tomography
Elemental Distribution Analysis of Semiconductor Nanostructures with Atom Probe Tomography
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利用原子探针断层扫描技术分析半导体纳米结构的元素分布
DOI：
10.3131/jvsj2.56.340
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发表时间：
2013
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
永井康介
中科院分区：
文献类型：
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作者：
清水康雄;井上耕治;高見澤悠;矢野史子;永井康介
