Ｓｉ添加酸化タングステン薄膜の結晶構造と配向性
Ｓｉ添加酸化タングステン薄膜の結晶構造と配向性
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Si掺杂氧化钨薄膜的晶体结构和取向
DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
安達 裕
中科院分区：
文献类型：
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作者：
矢島 健;堀 智;日沼 洋陽;岩崎 類;大原 高志;中尾 朗子;宗像 孝司;菅野 了次;廣井 善二;安達 裕
