加藤宙密, 宮川武, 南向智広, 大木義路, 薛光洙, 滝山真功: "プラズマ化学気相堆積法によるハフニウムシリケート膜の堆積"放電研究. 44・1〜2. 69-73 (2001)
加藤宙密, 宮川武, 南向智広, 大木義路, 薛光洙, 滝山真功: "プラズマ化学気相堆積法によるハフニウムシリケート膜の堆積"放電研究. 44・1〜2. 69-73 (2001)
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加藤中光、宫川武、南向井智弘、大木义一、雪光秀、泷山新子：“利用等离子体化学气相沉积法沉积硅酸铪膜” 放电研究 44・1-73。
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