电极形状对介电泳抛光影响的仿真研究
电极形状对介电泳抛光影响的仿真研究
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DOI:
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发表时间:
2017
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
杭伟
中科院分区:
文献类型:
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作者:
赵天晨;袁巨龙;邓乾发;杭伟