Irradiation conditions of gas cluster ion beam for surface-activated bonding
Irradiation conditions of gas cluster ion beam for surface-activated bonding
复制标题
表面活化键合气体团簇离子束的照射条件
DOI：
10.7567/jjap.57.02ba02
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发表时间：
2018
影响因子：
1.5
通讯作者：
Isao Yamada
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Noriaki Toyoda;Tomoya Sasaki;Shota Ikeda;Isao Yamada
