Research on Structure of AlN Thin Film Deposited on Mo Electrode
Research on Structure of AlN Thin Film Deposited on Mo Electrode
复制标题
Mo电极沉积AlN薄膜的结构研究
DOI：
--
复制
发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
王炫名
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
王炫名
