島状表面ナノ構造を有するTiN薄膜の創製と機械的特性
島状表面ナノ構造を有するTiN薄膜の創製と機械的特性
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具有岛状表面纳米结构的TiN薄膜的制备和机械性能
DOI：
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发表时间：
2012
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
内田仁
中科院分区：
文献类型：
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作者：
中谷正憲;大澤拓也;花木聡;内田仁
