無極性配向ウルツ鉱型AlN系微結晶薄膜を ガラス基板上に形成する技術を開発
無極性配向ウルツ鉱型AlN系微結晶薄膜を ガラス基板上に形成する技術を開発
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开发出在玻璃基板上形成非极性取向纤锌矿AlN微晶薄膜的技术
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