A high-precision silicon-on-insulator position sensor
A high-precision silicon-on-insulator position sensor
复制标题
高精度绝缘体上硅位置传感器
DOI:
10.1063/5.0133968
复制
发表时间:
2023
期刊:
影响因子:
5.6
通讯作者:
Beck P
中科院分区:
文献类型:
--
作者:
Beck P
DOI:
10.1364/josaa.16.002539
发表时间:
1999-10
影响因子:
1.9
作者:
A. Doicu;T. Wriedt
通讯作者:
A. Doicu;T. Wriedt
影响因子:
11
作者:
Paul Beck;M. Neugebauer;P. Banzer
通讯作者:
P. Banzer
影响因子:
20.6
作者:
Doerr, Christopher;Chen, Long
通讯作者:
Chen, Long