A high-precision silicon-on-insulator position sensor

A high-precision silicon-on-insulator position sensor
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高精度绝缘体上硅位置传感器

DOI:
10.1063/5.0133968
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发表时间:
2023
期刊:
影响因子:
5.6
通讯作者:
Beck P
Beck P
中科院分区:
物理与天体物理1区
文献类型:
--
作者:
Beck P

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被引文献

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