武山 真弓、野矢 厚: "Cu/Siコンタクト系におけるTi-Zr-N拡散バリヤの適用" 電子情報通信学会電子部品材料研究会技術研究報告. CPM98-120. 47-52 (1998)
武山 真弓、野矢 厚: "Cu/Siコンタクト系におけるTi-Zr-N拡散バリヤの適用" 電子情報通信学会電子部品材料研究会技術研究報告. CPM98-120. 47-52 (1998)
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Mayumi Takeyama、Atsushi Noya：“Ti-Zr-N扩散势垒在Cu/Si接触系统中的应用”电子、信息和通信工程师研究所电子元件材料研究组的技术研究报告CPM98-52。 (1998)
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