Application of x-ray mask fabrication technologies to high resolution, large diameter Ta Fresnel zone plates
Application of x-ray mask fabrication technologies to high resolution, large diameter Ta Fresnel zone plates
复制标题
X射线掩模制造技术在高分辨率、大直径Ta菲涅尔波带片中的应用
DOI：
10.1016/s0167-9317(96)00202-x
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发表时间：
1997
影响因子：
2.3
通讯作者：
T. Kagoshima
中科院分区：
文献类型：
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作者：
A. Ozawa;T. Tamamura;T. Ishii;H. Yoshihara;T. Kagoshima
