Metal assisted chemical etchingによるシリコンナノワイヤアレイの作製
Metal assisted chemical etchingによるシリコンナノワイヤアレイの作製
复制标题
金属辅助化学蚀刻法制造硅纳米线阵列
DOI:
--
复制
发表时间:
2011
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
加藤慎也,渡邊裕也,黒川康良,山田明
中科院分区:
文献类型:
--
作者:
Hamamoto;S. K. Kawamoto;T. Komatsu.;Yukihisa Nakao;加藤慎也,渡邊裕也,黒川康良,山田明
影响因子:
6.6
作者:
A. Kowal;M. Skompska;A. Wiȩckowski
通讯作者:
A. Wiȩckowski