Metal assisted chemical etchingによるシリコンナノワイヤアレイの作製

Metal assisted chemical etchingによるシリコンナノワイヤアレイの作製
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金属辅助化学蚀刻法制造硅纳米线阵列

DOI:
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发表时间:
2011
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
加藤慎也,渡邊裕也,黒川康良,山田明
加藤慎也,渡邊裕也,黒川康良,山田明
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
Hamamoto;S. K. Kawamoto;T. Komatsu.;Yukihisa Nakao;加藤慎也,渡邊裕也,黒川康良,山田明

文献摘要

参考文献

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前言《电化学学报》克拉科夫特刊
DOI: 10.1016/j.electacta.2007.02.047
发表时间: 2007
影响因子: 6.6
作者:
A. Kowal;M. Skompska;A. Wiȩckowski
通讯作者: A. Wiȩckowski