M.Nagao, K.Minami and M.Esashi: "Silicon Angular Rate Sensor Using PZT Thin Film(in Japanese)" Technical Report of IEEE. PS-96-12. 53-62 (1996)
M.Nagao, K.Minami and M.Esashi: "Silicon Angular Rate Sensor Using PZT Thin Film(in Japanese)" Technical Report of IEEE. PS-96-12. 53-62 (1996)
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M.Nagao、K.Minami 和 M.Esashi：“使用 PZT 薄膜的硅角速率传感器（日文）”IEEE 技术报告。
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