Structural analysis of chlorine-containing amorphous carbon films deposited by PBII&D
Structural analysis of chlorine-containing amorphous carbon films deposited by PBII&D
复制标题
PBII沉积的含氯非晶碳薄膜的结构分析
DOI：
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发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Masahiro Kawaguchi
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Yuuki Tokuta;Takashi Itoh;Takahiko Shiozaki;Masahiro Kawaguchi
