森 涼太郎, 松本佳宣: "エマルジョングレイスケールマスクの紫外線透過量と感光性ガラスの3次元微細加工"電気学会論文誌Eセンサ・マイクロマシン準部門誌. Vol.123No.11. 499-503 (2003)

森 涼太郎, 松本佳宣: "エマルジョングレイスケールマスクの紫外線透過量と感光性ガラスの3次元微細加工"電気学会論文誌Eセンサ・マイクロマシン準部門誌. Vol.123No.11. 499-503 (2003)
复制标题

Ryotaro Mori、Yoshinobu Matsumoto:“乳剂灰度掩模的紫外线透射和感光玻璃的三维微加工”,日本电气工程师学会会刊,电子传感器和微型机械杂志,第 123 卷第 11 期。499- 503(2003)

DOI:
--
复制
发表时间:
--
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
--
中科院分区:
--
文献类型:
--
作者:

文献摘要

相似文献