Cu薄膜の残留応力に及ぼすPTFE中間層および膜厚の影響
Cu薄膜の残留応力に及ぼすPTFE中間層および膜厚の影響
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PTFE中间层及膜厚对Cu薄膜残余应力的影响
DOI：
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发表时间：
2003
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
ほか
中科院分区：
文献类型：
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作者：
熊谷正芳(武蔵工大院);秋田貢一(武蔵工大);大谷眞一(武蔵工大);ほか
