表面波励起プラズマによる金属円筒内面への高速ダイヤモンドライクカーボン成膜
表面波励起プラズマによる金属円筒内面への高速ダイヤモンドライクカーボン成膜
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使用表面波激发等离子体在金属圆柱体的内表面上高速沉积类金刚石碳
DOI：
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发表时间：
2006
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
梅原徳次
中科院分区：
文献类型：
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作者：
岸根 翔;上坂裕之;梅原徳次
