共鳴トンネル素子を用いたΔΣ型歪みセンサ
共鳴トンネル素子を用いたΔΣ型歪みセンサ
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使用谐振隧道元件的ΔΣ型应变传感器
DOI:
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发表时间:
2015
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
森雅之
中科院分区:
文献类型:
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作者:
前澤宏一;角谷祐一郎;中山大周;田近拓巳;森雅之