高圧マイクロ波水素プラズマによるシリコン高速エッチングにおけるプラズマ中でのシラン分解
高圧マイクロ波水素プラズマによるシリコン高速エッチングにおけるプラズマ中でのシラン分解
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使用高压微波氢等离子体进行高速硅蚀刻过程中等离子体中的硅烷分解
DOI：
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发表时间：
2013
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
山田浩輔，山田高寛，足立昂拓，大参宏昌，垣内弘章，安武潔
中科院分区：
文献类型：
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作者：
内城千翔;鮑力民,剱持潔;安武潔，山田高寛，垣内弘章，大参宏昌;足立昂拓，首藤光利，山田高寛，大参宏昌，垣内弘章，安武潔;山田高寛，平野達也，山田浩輔，大参宏昌，垣内弘章，安武潔;足立昂拓，山田高寛，大参宏昌，垣内弘章，安武潔;山田高寛，足立昴拓，山田浩輔，大参宏昌，垣内弘章，安武潔;山田浩輔，山田高寛，足立昂拓，大参宏昌，垣内弘章，安武潔
