歪みSi/Si1-xCx/Si(001)ヘテロ構造の結晶性と不純物活性化過程との関係
歪みSi/Si1-xCx/Si(001)ヘテロ構造の結晶性と不純物活性化過程との関係
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应变Si/Si1-xCx/Si(001)异质结构结晶度与杂质活化过程的关系
DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
澤野憲太郎
中科院分区：
文献类型：
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作者：
藤原幸亮;酒井翔一朗;小林昭太;有元圭介;山中淳二;中川清和;宇佐美徳隆;星裕介;澤野憲太郎
