磁控溅射中电磁场分布二维模拟
磁控溅射中电磁场分布二维模拟
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DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
王明磊
中科院分区：
文献类型：
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作者：
周艳文;张绪跃;王复栋;王明磊
