Monomolecular layer controlled deposition of ZnO thin films using a pulsed valve by catalytic reaction-assisted chemical vapor deposition
Monomolecular layer controlled deposition of ZnO thin films using a pulsed valve by catalytic reaction-assisted chemical vapor deposition
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利用脉冲阀催化反应辅助化学气相沉积单分子层控制沉积 ZnO 薄膜
DOI：
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发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
K. Yasui
中科院分区：
文献类型：
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作者：
T. Saito;S. Ono;A. M. Hashim;K. Yasui
