Molecular Dynamics Simulation of Si Nano-Clusters in Mesoplasma High Rate And Low Temperature Epitaxy
Molecular Dynamics Simulation of Si Nano-Clusters in Mesoplasma High Rate And Low Temperature Epitaxy
复制标题
中质硅纳米团簇高速低温外延的分子动力学模拟
DOI：
--
复制
发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
T.Yoshida
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
L.W.Chen;M.Kambara;T.Yoshida
