H.Takao,Y.Matsumoto et al.: "Analysis and Design Considera-tions of Three Dimensional Vector Accelerometer Using SOI structure for High Temperature Range"," Sensors and Actuators A. 91-97 (1990)
H.Takao,Y.Matsumoto et al.: "Analysis and Design Considera-tions of Three Dimensional Vector Accelerometer Using SOI structure for High Temperature Range"," Sensors and Actuators A. 91-97 (1990)
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H.Takao、Y.Matsumoto 等人：“高温范围内使用 SOI 结构的三维矢量加速度计的分析和设计考虑”，传感器和执行器 A. 91-97 (1990)
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