Tatsuya MATSUE: "Change in Residual stresses of TiN Films Pueto Annealing treatments" MATERIALS SCIENCE RESEARCH INTERNATIONAL. vol.5,No.1. 45-50 (1999)
Tatsuya MATSUE: "Change in Residual stresses of TiN Films Pueto Annealing treatments" MATERIALS SCIENCE RESEARCH INTERNATIONAL. vol.5,No.1. 45-50 (1999)
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Tatsuya MATSUE：“TiN 薄膜 Pueto 退火处理残余应力的变化”国际材料科学研究。
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